Arbeitsbereiche

Bildgebende Analyseverfahren
- Röntgenverfahren
- Raster-Elektronen-Mikroskopie
- Mikroskopie & Oberflächenmessgeräte
- Koordinatenmessgeräte
- Optische Feldmessverfahren
Materialstrukturierung- und Abscheidung
- Nano-Imprint-Litographie
- Atomic-Layer-Deposition
- RIE-Ätzung
- Optische Lithographie
Digitale Bildverarbeitung
- Virtual/Augmented Reality
- Analyse- und Softwaretools
- Messdatenauswertung (1D bis 3D)
- Hardwareintegration/ Reverse Engineering

Ansprechpartner

Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner
+49 375 536 1434
Robert.Taeschner[at]fh-zwickau.de

Prof. Dr.-Ing. Silke Mücklich
+49 375 536 1771
Silke.Muecklich[at]fh-zwickau.de

Prof. Dr. rer. nat. Silke Kolbig
+49 375 536 1382
Silke.Kolbig[at]fh-zwickau.de