Betreute Abschlussarbeiten
| Datum | Referenz | Ort |
|---|---|---|
| 28.03.2013 | Christopher Nass. Untersuchung des Belackungsprozesses für Silizium-Träger und dessen Eignung für Laser-Interferenz-Lithografie. Bachelorarbeit | Helmholtz-Zentrum Berlin |
| 04.07.2013 | Steffi Christa Block. Charakterisierung und Pilotversuche zu einem thermoformbaren Resistmaterial für die Nanoreplikation. Masterarbeit | WHZ |
| 22.01.2014 | Andreas Mrotzek. Struktur und optoelektronische Eigenschaften von siliziumreichen SiO2- und Si3N4-Schichten für MOS- und Wellenleiterstrukturen. Masterarbeit | Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf |
| 22.11.2014 | Silvia Hertel. Prozessevaluierung zur Abscheidung von Aluminium aus ionischen Liquiden. Masterarbeit | Fraunhofer-Institut für elektronische Nanosysteme |
| 24.11.2014 | Christopher Nass. Konzepterarbeitung für einen Run-to-Run Controller für Oxid-CMP-Prozesse. Masterarbeit | X-Fab Dresden GmbH & Co. KG |
| 06.02.2015 | Anika Himmler. Nanostrukturierung von PMMA-Folie durch Plasmabehandlung im Rolle - zu - Rolle –Verfahren. Masterarbeit | Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl und Plasmatechnik |
| 15.04.2015 | Robert Maurer. Untersuchungen der Einflussgrößen auf den Produktfokus sowie auf die notwendige Dosis bei der Strukturierung von Silizium-Leistungshalbleitern. Bachelorarbeit | Infineon Technologies Dresden GmbH |
| 10.06.2015 | Sebastian Spindler. Herstellung und Charakterisierung von Ladungstransportschichten zur Realisierung lichtemittierender Dioden auf Basis von Halbleiternanokristallen. Masterarbeit | Fraunhofer Institut für elektronische Nanosysteme |
| 24.08.2015 | Michael Münnich. Untersuchungen zur Eignung der Ultraschall-Rückstreuung als produktionsbegleitender Prozess zur Qualitätskontrolle randschichtgehärteter Bauteile. Diplomarbeit | WHZ |
| 14.03.2016 | Sebastian Sörgel. Herstellung und Charakterisierung von PDMS- Stempel für das Nanoimprintverfahren. Bachelorarbeit | WHZ |
| 27.09.2016 | Martin Braun. Elektrische und optische Eigenschaften von dotierten Zinkoxid-Dünnfilmschichten nach Temperung mit spektral modifizierten Blitzlampen. Masterarbeit | Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf |
| 26.01.2018 | Dominik Weber. Optimierung der Prozessstabilität für die Herstellung von nanoskaligen Strukturen durch Laserinterferenzlithographie. Masterarbeit | WHZ |
| 12.02.2018 | Florian Röther. Integration fluoreszierender Stoffe in nanoskalig strukturierte Oberflächen. Masterarbeit | WHZ |
| 25.10.2018 | Hannes Vierke. Inbetriebnahme und Optimierung einer Anlage zur Messung der photokatalytischen Aktivität einer bestrahlten Schicht Bachelorarbeit | WHZ |